Geringer Halbleitertechnik GmbH & Co. KG

Frontend

Elektrostatische Beschichtung von Wafer- oder Flachbaugruppen im Durchlaufverfahren

Verfahren unabhängig von der Nutzen-Größe
Elektrostatische Beschichtung mittels Rotationssprühzerstäuber
Beschichtung von Wafern oder Leiterplatten bis zu einer maximalen Breite von 400mm
Verschiedene Lacksorten möglich
- Lacksorte und -menge im Menü wählbar
- Automatische Lackwechseleinrichtung
Schichtdicke variabel 5- 40µ
Schichtdicken ± 2µ
Verschiedene Rezepturen wählbar
Automatische Füllstandsabfrage der Lacke
Automatischer Spülvorgang bei Lackwechsel
4 - Zonen Aufteilung, jeweils mit separat steuerbarer Laminarbox
- Bestückstation
- Prozesskammer
- Ausheizkammer
- Entstückstation
Automatische Feuerlöschanlage